產(chǎn)品分類
型號 |
|
FJ-620C |
FJ-620F |
FJ-700 |
進(jìn)氣口法蘭 Flange(In) |
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DN100 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 CF |
DN160 CF |
DN160 CF |
||
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
||
排氣口法蘭 Flange(Out) |
ISO-KF |
DN40 |
DN40 |
DN40 |
抽速速率 Pumping Speed |
l/s |
N2:600 |
N2:600 |
N2:700 |
He:380 |
He:380 |
He:580 |
||
H2:240 |
H2:240 |
H2:260 |
||
Ar:580 |
Ar:580 |
Ar:680 |
||
壓縮比 Compression Ratio |
|
N2:109 |
N2:109 |
N2:109 |
He:104 |
He:105 |
He:107 |
||
H2:103 |
H2:104 |
H2:106 |
||
Ar:109 |
Ar:109 |
Ar:109 |
||
極限壓強(qiáng) Ultimate Pressure |
Pa |
CF:6×10-7 ISO-K:6×10-6 |
CF:6×10-8 ISO-K:6×10-7 |
CF:6×10-8 ISO-K:6×10-7 |
建議啟動壓強(qiáng) recommended forevacuum pressure |
Pa |
100 |
100 |
100 |
前級泵型號 forevacuum pump |
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RV6( default ) |
RV6( default ) |
RV6( default ) |
冷卻方式 Cooling Type,Standard |
|
水冷 |
風(fēng)冷 |
水冷、風(fēng)冷 |
冷卻水流量 Cooling Water Consumpyion |
L/min |
>1 |
>1 |
>1 |
冷卻水溫度 Cooling Water Temperature |
℃ |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
輸入電壓頻率 Input voltage/ frequency |
V/Hz |
380±20/50 |
380±20/50 |
380±20/50 |
環(huán)境溫度(℃)Environment temperature |
水冷方式 |
5℃-40℃ |
||
風(fēng)冷方式 |
5℃-32℃ |
|||
安裝方式 mounting position |
|
垂直 Vertical |
垂直 Vertical |
垂直 Vertical |
適配電源型號Controller Model |
|
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
長×寬×高 L*W*H (高=地面-過渡腔電離規(guī)處) |
mm |
550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口) |
550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口) |
550×690×850(水冷) 550x690x915(風(fēng)冷) |
重量 Weight |
kg |
117 |
117 |
135 |
①選配干泵,具體型號咨詢銷售人員 Dry pump on request
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