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陀螺檢漏設備
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超高靈敏度陀螺檢漏設備

此超高靈敏度檢漏設備，通過分子泵抽氣使檢漏室達到超高本底，吸氣泵將殘留在檢漏室內部的氫氣分子抽出，四極質譜檢測從工件泄漏出的所有氦氣，提高了陀螺檢漏靈敏度，從而提高陀螺儀的控制精度。本系統(tǒng)的最小可檢漏率可達1×10-13Pa·m3/s。本設備適用于陀螺、紅外探測器杜瓦等微小精密器件超高靈敏度檢漏。
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